思达射手座Sagittarius-SPT 是电子光学/硅光子晶圆级测试解决方案,用在硅光子器件的表微和验收测试。
特性/技术开发
• 电子特性:
Ion,Ioff,Von,电容,电阻,介电常数,漏电流,功率等。
• 光学特性:
插入损耗,耦合效率,透射率,钯响应率,偏振度等。
• 电光特性:
O-I和I-O效率,带宽。
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