产品信息 > 参数测试(WAT)探针卡

思达处女座Virgo-SEMI 探针卡具有超低漏电流和寄生电容，适用于配置宽度为 115mm探针卡座的探针台。此高性能探针卡支持 SPICE 建模测试、器件表征及可靠性认证，并可在宽温范围内进行测试。

思达处女座Virgo-PRO II 是生产级探针卡，与 Keysight 4070/4080 系列参数测试仪搭配使用于晶圆验收/电性测试，实现高温下小尺寸焊盘的稳定探测，并能准确测试低至1.0 pA 以下的电流。

思达处女座Virgo-PRO K是运用在Keysight 4070/4080系列测试仪的生产级参数测试探针卡。采用思达创新的卡尔文Kelvin架构，独立连接力Force端和感测Sense端。此系列探针卡，适用于纳米制程中的精密高电流低电压测试。

思达处女座Virgo-PRO Z是先进纳米级半导体器件测试的参数测试探针卡，适用于小至 30 um sq.的焊盘，在最高达 200摄氏度下，具有低于100 fA 的漏电流。

思达处女座Virgo PRO 62 是符合成本效益的探针卡，与 Keysight 4062 测试仪配合使用，用于探测先进半导体器件，并支持低漏电测量和小尺寸焊盘探测。

思达处女座Virgo-KS6是生产级电性测试和晶圆接受测试探针卡，适用于 Keithley S600测试仪，采用高刚性多层陶瓷PCB结构，能够高质量的探测微小焊盘（最小可至30 um sq.）。

思达处女座Virgo-PRO II-HT/UT 是生产级参数测试探针卡，适用于 Keysight 4070 系列参数测试仪，支持宽温范围的可靠性和老化测试，最高可达 150摄氏度(HT)和 200摄氏度(UT)。

思达处女座Virgo-RPO II-E与Keysight 4080 系列参数测试仪搭配使用，进行生产级可靠性和老化测试，最高可达300摄氏度，并确保在温度变化下稳定的低漏电流，最低可至1.0 pA，进而保证测试数据真实反映器件性能。

思达处女座Virgo-SEMI-UT 是工程级探针卡，搭配参数测试仪和探针台使用，运用在晶圆级可靠性测试，最高测试温度可达200摄氏度，并确保测试数据真实反映器件性能。

思达处女座Virgo-SEMI-ET 是运用在工程环境的晶圆级可靠性测试（最高可达300摄氏度）的探针卡，搭配参数测试仪和工程级用探针台使用。其专利的“Force-Air Cooling”技术，可确保探针卡在高温条件下的电气与机械特性，和可信赖的测试结果。

思达处女座Virgo-PRO/SEMI-XT 是晶圆级参数与可靠性测试探针卡，支持从-65到 300摄氏度（可扩展至400摄氏度）的宽温度范围下，持续工作超过 1000小时。

思达处女座Virgo SEMI-HFx 系列是宽带 悬臂式探针卡，适用于工程和生产中的高速（sub-ns上升时间）参数测试，如快速 BTI、脉冲 IV、闪存、RAM 等。

思达处女座Virgo-HF 探针卡采用高频同轴探针和SMA连接器，用于高速/高频信号传输。思达也会设计用于配套的接地连接的直流DC探针，确保高速/高频信号的良好屏蔽和回路路径。

思达处女座Virgo-RF采用高频GSG、GS或SG探针，具备2.4 mm连接器，运用于射频源和测量，并可进一步配置低漏电直流DC探针，用于搭配Keysight 4080系列参数测试仪的直流-射频DC-RF测试。

思达处女座Virgo-hiVIP 是一款用于高电压、高电流和功率器件如IGBT、DMOS和BJT等的晶圆接受测试探针卡。采用被动和主动元組件建构的“智能夹具”技术，适用于最高达10 kV和/或20 A的功率器件测试，并在极高电压或电流通过器件时，防止探针烧毁或熔化。

思达处女座Virgo PRO-XV 探针卡专为汽车芯片、AC-DC转换器、功率 MOSFET、IGBT等器件的高电压测试而设计，能够在1000 um探针间距下，承受最高达15 kV的电压，且在漏电流小于0.1 pA/V的情况下，不会发生电弧或击穿。

思达处女座Virgo-ST 是一款特殊热温晶圆参数量测WAT探针卡，运用确保晶圆在高温或低温测试时，参数测试仪和探针卡处于控制中的环境。此热温的稳定环境也确保参数测试仪在规定范围内运行，和保证测试精度。

思达是WAT晶圆参测量测探针卡的前沿，并与客户合作开发适用于任何测试应用和环境的专业WAT探针卡，且在陶瓷 PCB、小尺寸焊盘探测、高隔离性、高频等具备专利技术。

思达巨蟹座Cancer-HIC 是一款具有极低接触电阻的探针卡，支持 卡尔文Kelvin（四线制）探测，以确保精度佳的电阻测量。此系列探针卡广泛应用于 MLC 芯片电阻的激光修整以及混合式集成电路，如功率晶体管、二极管等的并行探测。

思达摩羯座 Capricorn-MS 4轴定位器 16点探针台，采用 Virgo-MULTI 探针卡进行高温低漏电流的先进晶圆级可靠性测试。具有成本效益的探针卡可以轻松连接到多点 Capricorn-MS 定位器，支持最高 300攝氏度的温度，且焊盘尺寸可小至 35 um sq.。

思达处女座Virgo-MF 探针卡支持最多 300mm 晶圆一次多点探测，支持最小 70 um引脚间距和 50 um sq. 焊盘尺寸的器件。最高温可达 350°C 的多点晶圆级可靠性（WLR）测试，漏电流低至pico-ampere级。

思达处女座 Virgo-MP 是一款与思达摩羯座 Capricorn-MP 6轴多点定位器配合使用的探针卡，非常适用于晶圆级可靠性测试中的灵活多点探测。思达摩羯座Capricorn-MP 与思达处女座Virgo-MP 可以直接安装在 Cascade 或 Suss 工程探针台上，无需使用昂贵的探针卡支架。